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特 点
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·系统采用MPG-2010C,1KW/2450MHZ高稳定程控微波功率源.运用完善的线路安全闭锁控制系统,使该系统工作寿命长,电气性能优良,安全可靠,操作简单方便。
·微波传输系统由高性能微波环行器，销钉调配器，带反射波取样的水负载以及外部连接波导组成。它确保反射波对磁控管的良好隔离，并能方便地调节最佳匹配，达到微波功率的最佳传输。
·圆柱形微波反应腔内设多极永磁ECR系统，可在很宽的运行范围内把微波功率耦合给等离子体，在等离子体放电室中产生高密度、高电离度、大面积均匀稳定的微波放电。
·多端口等离子体放电腔带6~10个端口，是双层水冷结构的大容积放电腔。
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用 途
| | ·系统主要用途：1）金刚石等多种薄膜的化学汽相沉积的研究和中试加工；2）基片的刻蚀和灰化；3）作为高密度、宽束离子源；4）低温氧化物的生长；5）等离子体表面处理和其它实验加工。
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技术参数
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·微波工作频率：
2450±50MHZ
·微波输出功率： 0.5~5KW连续可调
·功率稳定度： 优于±1%
·输出波导接口： BJ-26带FD-26标准法兰
·输入电源： 380V±10% 三相四线
·冷却水流量： >5L/min
·微波反应腔尺寸和工作模式：ф124×200(H)下注TE011模式
·微波放电腔： 多端口,带双层水冷
·真空系统： 600L/min分子泵和旁路机组,中气压真空测控
·气路系统： 4路MFC控制
·样品支架系统：基板直径ф100mm,轴向调节距离;0~150mm
| | ※请与我公司联系获取详细技术参数。
※可根据用户不同的技术参数要求进行设计、制造。
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